飛納桌面掃描電鏡在結(jié)構(gòu)上展現(xiàn)了一系列特別之處，這些特點(diǎn)使其成為現(xiàn)代科研和工業(yè)領(lǐng)域中不可少的工具。其設(shè)計(jì)理念在于將高性能的電子顯微鏡技術(shù)濃縮成更小巧、便攜的形式，同時(shí)保留了傳統(tǒng)掃描電鏡的核心功能和高分辨率成像能力。
飛納桌面掃描電鏡的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)：
-電子槍：電子槍是電子光學(xué)系統(tǒng)的核心部分，它使用鎢單晶作為發(fā)射源，通過第一陽極和第二陽極加速電子，而鎢陰極則保持負(fù)電位，確保電子束的穩(wěn)定發(fā)射。
-磁透鏡：磁透鏡用于將電子束聚焦成亮度高、直徑小的入射束，以便準(zhǔn)確轟擊樣品表面。
-掃描線圈：掃描線圈負(fù)責(zé)控制電子束在樣品表面的掃描路徑，實(shí)現(xiàn)柵網(wǎng)式掃描，從而獲得樣品的高分辨率圖像。
-光闌：光闌用于調(diào)節(jié)電子束的大小，確保只有所需尺寸的電子束通過，以優(yōu)化成像效果。
-樣品室：樣品室是放置樣品的空間，設(shè)計(jì)上允許方便地更換樣品，同時(shí)保持高真空環(huán)境。
-探測(cè)器：探測(cè)器接收從樣品表面反射回來的電子束信號(hào)，這些信號(hào)包含了樣品表面形貌的信息。
-數(shù)據(jù)處理：接收到的信號(hào)經(jīng)過轉(zhuǎn)換和放大后輸入到顯像管，形成用戶可見的圖像。
-顯示系統(tǒng)：顯示系統(tǒng)負(fù)責(zé)將處理后的信號(hào)轉(zhuǎn)換為直觀的圖像，供用戶觀察和分析。
-機(jī)械泵：機(jī)械泵用于初步抽取樣品室內(nèi)的空氣，達(dá)到低真空狀態(tài)。
-分子泵：分子泵進(jìn)一步降低樣品室內(nèi)的壓力，以達(dá)到高真空環(huán)境，這對(duì)于電子束的穩(wěn)定性和樣品保護(hù)至關(guān)重要。
-離子泵：離子泵用于維持高真空狀態(tài)，確保電子束在傳輸過程中的能量損失小。
-穩(wěn)壓穩(wěn)流：電源系統(tǒng)提供穩(wěn)定的電壓和電流，保證電子槍和其他組件的正常工作。
-安全保護(hù)電路：電源系統(tǒng)中還包含安全保護(hù)電路，以防止設(shè)備過載或短路等意外情況的發(fā)生。
-溫度控制：冷卻循環(huán)水系統(tǒng)用于維持設(shè)備在適宜的工作溫度，防止過熱導(dǎo)致設(shè)備損壞或影響實(shí)驗(yàn)結(jié)果。
-數(shù)據(jù)存儲(chǔ)：圖像記錄系統(tǒng)負(fù)責(zé)將觀察到的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行存儲(chǔ)，便于后續(xù)的分析和研究。
-樣品制備：對(duì)于導(dǎo)電材料，可以直接放入樣品室進(jìn)行分析；而對(duì)于導(dǎo)電性差或絕緣的樣品，則需要噴鍍導(dǎo)電層以提高成像質(zhì)量。
